MEMS与微系统－MEMS开关器件

报告题目：MEMS与微系统－MEMS开关器件

报告时间：11月23日

报告地点：静远楼419

报 告 人：向小健

报告人简介：向小健博士2012年本科毕业于东北大学机械系，2019年获得上海交通大学电子科学与技术专业博士学位，现为清华大学博士后，师从郑泉水院士从事超滑MEMS器件方面的研究。向小健博士一直从事微机电系统（MEMS）方面的研究工作，致力于MEMS静电执行器、RF-MEMS开关、MEMS惯性开关、能量采集器等器件的设计、仿真、制造和测试。针对RF-MEMS开关吸合电压高、闭合弹跳问题（严重影响寿命）、工艺鲁棒性等问题，首次提出了一种非线性变刚度抑制方法，得到了国际相关领域专家的关注，并应邀在IEEE Sensors和IEEE Transducers顶级会议上作口头报告（ORAL）。截止目前，向小健博士在本领域顶级期刊（IEEE JMEMS、APL、EDL、JMM等）与会议（IEEE MEMS、IEEE Sensors，IEEE Transducers）上已发表20余篇相关论文，并担任IEEE JMEMS、APL、SMS、JMM等顶级MEMS期刊审稿人。

主办单位：电信学院